据台媒报道,中国台湾经济相关部门核定通过ASML 2纳米晶圆光学量测设备研发制造计划,总经费为新台币9.5亿元新台币(单位下同)。中国台湾经济相关部门指出,ASML在台推进2纳米设备是全球首创,同时可提升本土供应链量能。
该部门表示,核定通过ASML“下一代晶圆量测设备研发伙伴计划”,计划总经费为9.5亿元,其中,中国台湾经济相关部门补助2.85亿元,占总经费30%,计划执行期间为2年。“下一代晶圆量测设备研发伙伴计划聚焦2纳米晶圆光学量测设备研发制造”,相关官员表示,ASML选择在中国台湾研发全球唯一的2纳米量测设备,2纳米设备未来将进驻ASML的林口新厂生产,相关的晶圆精密定位平台等核心技术也会在中国台湾落地。
相关官员透露,ASML和中国台湾双方磋商期间,中国台湾经济相关部门在推荐合作厂商时花费较多时间讨论,最终ASML同意将自给率提高至35%、增加6家中国台湾供应商,以及在中国台湾采购金额拉高至每年72亿元。
4月10日消息,ASML向中国台湾经济相关部门申请 A+ 企业研发补助案。对此,该部门表示,将在两方面进行审查,包括如何协助供应链技术升级。ASML去年宣布在中国台湾扩大投资,新北市长侯友宜透露,预计落脚林口,第一期投资金额达300亿元,约2000名员工进驻。
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