台积电重金研发3nm和2nm工艺

来源: 芯闻路1号 作者:天权蜥蜴姐 2022-04-18 15:02:55

  4月18日消息,晶圆代工龙头台积电在年报中指出,去年提升研发费用至44.6亿美元,全年研发总支出占营收比重达7.9%,此一研发投资规模相当于或超越了许多其他高科技领导公司的规模。台积电加强3纳米及2纳米先进工艺研发及3DFabric平台先进封装技术推进,协助客户克服每18个月半导体运算能力大幅提升的摩尔定律所面临的持续挑战,并延续台积电在技术上的领导地位。

  台积电加快先进工艺研发,3纳米N3工艺使用鳍式场效电晶体(FinFET)结构提供客户最成熟的技术、最优异的效能、以及最佳的密度。N3预计在今年下半年量产。台积电亦推出N3E工艺作为3纳米家族的延伸。

  N3E的量产时间预计在N3量产后一年进行,有信心3纳米家族将成为台积电另一具长期大量需求的工艺技术。

  台积电进一步提升5纳米家族的效能、功耗和密度,推出了4纳米N4P和N4X工艺,以支援下一波的5纳米产品。相较于N5工艺,N4P效能提升11%,针对高负载的高效能运算(HPC)产品推出N4X工艺,该工艺为台积电第一个极高效能半导体X系列的技术,N4X的效能较N5提升15%。N4P预计于今年下半年完成首批产品设计定案,N4X预计在明年上半年进入试产。

  台积电去年进入2纳米N2工艺技术的开发阶段,着重于测试载具设计与实作、光罩制作及矽试产等,主要进展在于提升基础工艺设定、电晶体与导线效能。

  在微影技术部份,台积电研发组织藉由提升晶圆良率达到可靠影像以支援3纳米试产,并提升极紫外光(EUV)的应用、降低材料缺陷与增进平坦化的能力,以支援2纳米技术的开发。台积电亦通过2纳米光罩材料与光罩工艺的基础开发,持续精进EUV光罩技术,2纳米预期2025年开始生产。

  在先进封装技术方面,台积电3DFabric平台设计解决方案将和电晶体微缩互补,提升系统级效能。

  在系统整合晶片方面,台积电去年在客户产品上成功展示具备优异电性表现的晶片对晶圆(CoW)技术。另外,台积电完成新一代InFO及CoWoS先进封装验证,支援客户的HPC应用及具备增强散热性能的行动应用。

  包图

0
收藏
0